Procede de fabrication d'une resistance a pellicule mince

Abstract

<P>DES RESISTANCES A PELLICULE MINCE FABRIQUEES SELON LA TECHNIQUE DE VAPORISATION OU DE PULVERISATION CATHODIQUE SONT SOUMISES GENERALEMENT A UN RECUIT POUR DETERMINER UN FAIBLE COEFFICIENT DE TEMPERATURE.</P><P>POUR COMPENSER UNE AUGMENTATION DE LA VALEUR ELECTRIQUE DE RESISTANCE PENDANT LE RECUIT ET PENDANT LE FONCTIONNEMENT DE LA LONGUE DUREE, ON PROPOSE DE REVETIR UNE PARTIE DE LA SURFACE 2 DE LA RESISTANCE D'UNE COUCHE 4 ISOLANTE, DE PREFERENCE EN VERRE, ALO OU CERAMIQUE CONTENANT ALO, CE QUI EMPECHE UNE DIFFUSION D'OXYGENE SUR LA MATIERE DE LA RESISTANCE, TANDIS QUE L'AUTRE PARTIE DE LA SURFACE DE LA RESISTANCE DEMEURE LIBRE. ON CHOISIT LE RAPPORT ENTRE LA SURFACE COUVERTE ET NON COUVERTE DE LA RESISTANCE DE MANIERE QUE LA VALEUR TOTALE DE LA RESISTANCE ELECTRIQUE DEMEURE CONSTANTE AVANT ET APRES LE RECUIT.</P><P>APPLICATION DES RESISTANCES COMPENSEES A LA TECHNIQUE DES PELLICULES MINCES ET A LA TECHNIQUE HYBRIDE.</P>

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